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LUPHOScan 850 HD 是泰勒霍普森推出的一款大型光學(xué)工件精密檢測儀，基于多波長干涉技術(shù)（MWLI®），專為大型復(fù)雜光學(xué)應(yīng)用工件的精密檢測而設(shè)計。以下是其相關(guān)介紹：

測量原理：基于多波長干涉技術(shù)（MWLI®），通過測量傳感器在被測工件表面按預(yù)設(shè)路徑掃描，同時工件自身旋轉(zhuǎn)，利用多波長干涉?zhèn)鞲屑夹g(shù)測量絕對距離，實(shí)現(xiàn)對工件表面三維面形的測量。

測量范圍：測量口徑范圍可從 5mm 到 850mm，測量高度可達(dá) 210mm，大工件負(fù)載可達(dá) 350kg，可滿足多種尺寸大型光學(xué)工件的檢測需求。

測量精度：具有高精度和高重復(fù)性的面形誤差測量能力，精度可達(dá) <λ/20 (PV99i)，RMS 最小可達(dá) 5nm*，能為大型光學(xué)工件提供高精度的測量數(shù)據(jù)。

可測工件類型：主要用于對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對稱表面的超高精密非接觸式三維表面形狀測量。

可測材料：幾乎能測量所有的材料，包括透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面等，適用范圍廣泛。

功能特性：具備全新設(shè)計的 Flying spot 環(huán)紋抑制模式、基于相位的自動對焦、像素穩(wěn)定光學(xué)縮放及全新的變倍模式等。其智能設(shè)置功能可根據(jù)安裝的不同附件自動配置，還擁有 ZYGO 有氦氖穩(wěn)頻激光以及模塊化、密閉光學(xué)系統(tǒng)。

性能優(yōu)勢：測量速度快，對不常見的表面形狀，如平頂或有拐點(diǎn)的輪廓，具有高度靈活性，并且具有優(yōu)異的重復(fù)性。