美國api激光干涉儀操作步驟
?首先將激光干涉儀放置于所需測量機(jī)器的工作平臺，讓激光照射的方向大致與所測軸運動方向平行。
?打開激光干涉儀下面的磁力座開關(guān)(如平臺非鐵件,需安裝- ~鐵板以便磁力座更好的吸附)。
?將機(jī)器所測量軸移動至近處軟限位位置。
?將1D/3D 反射鏡鏡面朝向干涉儀方向并安裝在機(jī)器運動狀態(tài)下穩(wěn)定不會晃動的零部件上。(反射鏡與干涉儀均可作為運動測量t )
?激光干涉儀與反射鏡安裝完畢后，檢測測量軸在做全程運動時能有效的接收激光照射且不會碰到反射鏡及機(jī)器的任意部件。
?氣象站材料溫度傳感器和空A氣溫度傳感器以及大氣壓力傳感器請放置于機(jī)器的工作臺面上。
XD Laser激光干涉儀的測試方法：
| 直線度測量 | — 應(yīng)用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點位置轉(zhuǎn)化為電信號)
— 不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準(zhǔn)直儀)
— 對直線度進(jìn)行1:1的測量
— 可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速 |
| 垂直度測量 | — API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可，
— 無需其他鏡組裝/調(diào)非常方便快速
— 在測兩軸的垂直度的同時，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，
— 大大節(jié)省了測量所占用機(jī)床的時間，也可避免人為差錯。 |
偏擺角/ 俯仰角測量 | — 良好的PSD技術(shù)來測量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點上；
— 如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個方向的坐標(biāo)值，從而與焦距比較得出角度值。
— 測量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試。不受滾動角的影響，調(diào)整光路容易 。 |
美國API激光干涉儀 XD-1D/ XD-3D/ XD-5D/ XD-6D主要技術(shù)參數(shù)：
| 功能型號 | 單位 | XD-1D一維型 | xd-3d三維型 | xd-5d三維型 | xd-6d三維型 |
| 標(biāo)準(zhǔn)型 | 精密型 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 精密型 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 精密型 |
| 線性測量范圍 | m | 45 | | 45 | 45 | 40 | 45 | 45 |
| 線性精度 | ppm | 0.5 | | 0.5 | 0.5 | 0.2 | 0.5 | 0.2 |
| 直線度測量精度 | un | N/A | N/A | （2.0+0.4/m） 或2% | （1.0+0.2/m） 或1% | （0.5+0.1/m） 或1% | （1.0+0.2/m） 或1% | （0.5+0.1/m） 或1% |
偏擺角及俯仰角精度 | 角秒 | N/A | N/A | N/A | （1.0+0.1/m） 或1% | （0.5+0.05/m） 或1% | （1.0+0.1/m） 或1% | （0.5+0.05/m） 或1% |
| 滾動角精度 | 角秒 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | 1.0或1% | 0.5或1% |
| 垂直度測量精度 | 角秒 | N/A | N/A | （1.0+0.4/m） | （1.0+0.2/m） | （1.0+0.2/m） | （1.0+0.2/m） | （1.0+0.2/m） |
| 材料溫度傳感器精度 | ℃ | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 空氣溫度傳感器精度 | ℃ | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.1 |
| 大氣壓力傳感器精度 | mm Hg | 1.0 | 0.3 | 0.3 | 1.0 | 0.3 | 1.0 | 0.3 |
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